等離子清洗機(jī)是什么  

　　等離子清洗機(jī)選用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地防止了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來的二次污染。等離子清洗機(jī)外接一臺(tái)真空泵，作業(yè)時(shí)清洗腔中的等離子體與清洗物的表面污染物產(chǎn)生反應(yīng)并灰化，短時(shí)間的清洗就可以使有機(jī)污染物被徹底地清洗掉，一同污染物被真空泵抽走，其清洗程度到達(dá)分子級(jí)。等離子清洗器除了具有超清洗功用外，在特定條件下還可根據(jù)需求改變某些材料表面的功能，等離子體效果于材料表面，使表面分子的化學(xué)鍵產(chǎn)生重組，構(gòu)成新的表面特性。對(duì)某些有特殊用途的材料，在超清洗過程中等離子清洗器的輝光放電不光加強(qiáng)了這些材料的粘附性、相容性和浸潤(rùn)性，并可消毒和殺菌。等離子清洗器廣泛使用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。 

　　等離子清洗機(jī)的使用，起源于20世紀(jì)初，跟著高科技工業(yè)的快速發(fā)展，其使用越來越廣，目前已在很多高科技領(lǐng)域中，居于關(guān)鍵技術(shù)的位置，等離子清洗技術(shù)對(duì)工業(yè)經(jīng)濟(jì)和人類文明影響最大，首推電子資訊工業(yè)，尤其是半導(dǎo)體業(yè)與光電工業(yè)。 等離子表面處理

　　等離子清洗機(jī)已使用于各種電子元件的制造，可以堅(jiān)信，沒有等離子清洗機(jī)及其清洗技術(shù)，就沒有今天這么興隆的電子、資訊和通訊工業(yè)。此外，等離子清洗機(jī)及其清洗技術(shù)也使用在光學(xué)工業(yè)、機(jī)械與航天工業(yè)、高分子工業(yè)、污染防治工業(yè)和量測(cè)工業(yè)上，并且是產(chǎn)品提高的關(guān)鍵技術(shù)，比如說光學(xué)元件的鍍膜、延伸模具或加工工具壽數(shù)的抗磨耗層，復(fù)合材料的中間層、織布或隱性鏡片的表面處理、微感測(cè)器的制造，超微機(jī)械的加工技術(shù)、人工關(guān)節(jié)、骨骼或心臟瓣膜的抗摩耗層等皆需等離子技術(shù)的行進(jìn)，才開發(fā)結(jié)束。 

　　等離子技術(shù)是一新式的領(lǐng)域，該領(lǐng)域結(jié)合等離子物理、等離子化學(xué)和氣固相界面的化學(xué)反應(yīng)，此為典型的高科技工業(yè)，需跨多種領(lǐng)域，包含化工、材料和電機(jī)，因而將極具挑戰(zhàn)性，也布滿機(jī)遇，由于半導(dǎo)體和光電材料在未來得快速生長(zhǎng)，此方面使用需求將越來越大。 

2、等離子清洗機(jī)的技術(shù)原理

2.1 什么是等離子體 

　　等離子體是物質(zhì)的一種存在情況，一般物質(zhì)以固態(tài)、業(yè)態(tài)、氣態(tài)3種情況存在，但在一些特殊的情況下可以以第四中情況存在，如太陽表面的物質(zhì)和地球大氣中電離層中的物質(zhì)。這類物質(zhì)所處的情況稱為等離子體情況，又稱位物質(zhì)的第四態(tài)。

　　等離子體中存在下列物質(zhì)。處于高速運(yùn)動(dòng)情況的電子；處于激活情況的中性原子、分子、原子團(tuán)（自由基）；離子化的原子、分子；分子解離反應(yīng)過程中生成的紫外線；未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍堅(jiān)持電中性情況。真空等離子清洗設(shè)備

3、等離子清洗原理簡(jiǎn)介

3.1、金屬表面清洗 

    金屬表面常常會(huì)有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層，在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需求用等離子處理來得到徹底潔凈和無氧化層的表面。 在這種情況下的等離子處理會(huì)產(chǎn)生以下效果：

3.11灰化表面有機(jī)層

－表面會(huì)遭到化學(xué)炮擊

－在真空和瞬時(shí)高溫情況下，污染物部分蒸騰

－污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空帶出

－紫外輻射破壞污染物

由于等離子處理每秒只能穿透幾個(gè)納米的厚度，所以污染層不能太厚。指紋也適用。

3.12氧化物去除

金屬氧化物會(huì)與處理氣體產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)

這種處理要選用氫氣或許氫氣與氬氣的混合物。有時(shí)也選用兩步處理工藝。第一步先用氧氣氧化表面5分鐘，第二步用氫氣和氬氣的混合物去除氧化層。也可以一重用幾種氣體進(jìn)行處理。

3.13焊接

一般，印刷線路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接結(jié)束后這些化學(xué)物質(zhì)有必要選用等離子方法去除，否則會(huì)帶來腐蝕等問題。

3.14鍵合

好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時(shí)的殘留物削弱，這些殘留物可以通過等離子方法有挑選地去除。一同氧化層對(duì)鍵合的質(zhì)量也是有害的，也需求進(jìn)行等離子清潔。大氣等離子清洗

4、等離子刻蝕

在等離子刻蝕過程中，通過處理氣體的效果，被刻蝕物會(huì)變成氣相（例如在運(yùn)用氟氣對(duì)硅刻蝕時(shí)，下圖）。處理氣體和基體物質(zhì)被真空泵抽出，表面連續(xù)被新鮮的處理氣體掩蓋。不希望被刻蝕部分要運(yùn)用材料掩蓋起來（例如半導(dǎo)體職業(yè)用鉻做掩蓋材料）。 

等離子方法也用于刻蝕塑料表面，通過氧氣可以灰化填充混合物，一同得到分布分析情況?？涛g方法在塑料印刷和粘合時(shí)作為預(yù)處理手法是非常重要的，如POM 、PPS和PTFE。等離子處理可以大大地添加粘合濕潤(rùn)面積。

5、刻蝕和灰化

PTFE刻蝕

PTFE在未做處理的情況下不能印刷或粘合。眾所周知，運(yùn)用活潑的堿性金屬可以增強(qiáng)粘合才干，但是這種方法不容易把握，一同溶液是有毒的。運(yùn)用等離子方法不僅僅保護(hù)環(huán)境，還能到達(dá)更好效果。      

等離子結(jié)構(gòu)可以使表面最大化，一同在表面構(gòu)成一個(gè)活性層，這樣塑料就可以進(jìn)行粘合、印刷操作。    

PTFE混合物的刻蝕

PTFE混合物的刻蝕有必要非常細(xì)心地進(jìn)行，防止填充物被過度露出，然后削弱粘合力。 

處理氣體可以是氧氣、氫氣和氬氣?？梢允褂糜赑E、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。

6、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清潔

塑料、玻璃、陶瓷與聚丙烯、PTFE相同是沒有極性的，因而這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進(jìn)行處理。一同，玻璃和陶瓷表面的纖細(xì)金屬污染也可以用等離子方法清潔。等離子處理與灼燒處理比較不會(huì)損害樣品。一同還可以非常均勻地處理整個(gè)表面，不會(huì)產(chǎn)生有毒煙氣，中空和帶縫隙的樣品也可以處理。    

等離子表面處理的效果可以簡(jiǎn)單地用水來驗(yàn)證，處理過的樣品表面徹底被水濕潤(rùn)。長(zhǎng)時(shí)間的等離子處理（大于15分鐘），材料表面不光被活化還會(huì)被刻蝕，刻蝕表面具有最大濕潤(rùn)才干。常用的處理氣體為：空氣、氧氣、氬氣、氬氫混合氣體、CF4等。

7、等離子涂鍍

聚合     

在涂鍍中兩種氣體一同進(jìn)入反應(yīng)艙，氣體在等離子環(huán)境下匯聚合。這種使用比活化和清潔的要求要嚴(yán)厲一些。典型的使用是保護(hù)層的構(gòu)成，使用于燃料容器、防刮表面、類似PTFE質(zhì)料的涂鍍、防水涂鍍等。涂鍍層非常薄，一般為幾個(gè)微米，此刻表面的親和力非常好