全自動(dòng)等離子體清洗機(jī)又名在線真空等離子體清洗機(jī)。它的作業(yè)原理是在真空下, 然后運(yùn)用交流電場使工藝氣體成為等離子體, 并與有機(jī)污染物及微顆粒污染物反應(yīng)或碰撞構(gòu)成揮發(fā)性物質(zhì), 由作業(yè)氣體流及真空泵將這些揮發(fā)性物質(zhì)鏟除出去, 從而使工件抵達(dá)表面清潔活化。等離子清洗是剝離式清洗, 等離子清洗的特點(diǎn)是清洗之后對環(huán)境無污染。在線式真空等離子清洗設(shè)備是在老練的等離子體清洗工藝技術(shù)和設(shè)備制造基礎(chǔ)上, 添加上下料、物料傳輸?shù)茸詣?dòng)化功用。針對IC封裝中引線結(jié)構(gòu)上點(diǎn)膠裝片、芯片鍵合及塑封等工藝前清洗, 大大前進(jìn)粘接及鍵合強(qiáng)度等性能的一同, 避免人為因素長時(shí)間接觸引線結(jié)構(gòu)而導(dǎo)致的二次污染以及腔體式批量清洗時(shí)間長有或許造成的芯片損害。針對轎車零部件，體積大，搬運(yùn)不靈活規(guī)劃，削減搬運(yùn)環(huán)節(jié)，降低人員作業(yè)強(qiáng)度。

　在線式等離子體清洗機(jī)的主要結(jié)構(gòu)包括:上下料推料組織、上下料置取料渠道、上下料前進(jìn)系統(tǒng)、上下料傳輸系統(tǒng)、上下料撥料組織、反應(yīng)倉、設(shè)備主體結(jié)構(gòu)和電氣控制系統(tǒng)等。

　　等離子體：等離子體是由離子、電子、自在激進(jìn)分子、光子以及中性粒子組成的正離子和電子密度大致持平的電離氣體, 整體呈電中性。大氣等離子清洗

　清洗原理：等離子清洗是運(yùn)用等離子體對樣片的表面進(jìn)行處理, 使樣品表面的污染物被去除, 還可以前進(jìn)其表面活性。針對不同的污染物, 可以選用不同的清洗工藝, 根據(jù)所產(chǎn)生的等離子體品種不同, 等離子清洗分為化學(xué)清洗、物理清洗及物理化學(xué)清洗。等離子清洗歸于一種高精密的干式清洗方法,原理是在真空狀態(tài)下運(yùn)用射頻源產(chǎn)生的高壓交變電場將氧、氬、氫等工藝氣體激發(fā)成具有高反應(yīng)活性或高能量的離子,經(jīng)過化學(xué)反應(yīng)或物理作用對工件表面進(jìn)行處理,完成分子水平的沾污去除(一般厚度為3~30nm),前進(jìn)表面活性。對應(yīng)不同的污染物,應(yīng)選用不同的清洗工藝,抵達(dá)最佳的清洗作用。

　　在線式自動(dòng)搬運(yùn)物料的規(guī)劃要求,與慣例等離子清洗系統(tǒng)比較,降低了人工搬運(yùn)過成,前進(jìn)了設(shè)備自動(dòng)化水平。自動(dòng)等離子清洗機(jī)