制程規(guī)劃

自動將產(chǎn)品或載盤，放入腔體中的電極架中，高頻電源系統(tǒng)，對于擺放在電極架拖盤上或是料盒中的產(chǎn)品進行真空等離子表面改質(zhì)

傳送方式

自動上下料

可放置4-5個料盒/CT約40秒

腔體

材質(zhì)：AL6061

內(nèi)腔容積約20L

強化安全玻璃真空腔體窗口   ，抗紫外線及高頻輻射

真空泵

真空泵萊寶D-60T

制程壓力10~100pa之間

壓力量測范圍10-3~1   torr

制程氣體

混和氣體：95% Ar+5%H2

氣體用量約：5~40sccm之間

質(zhì)流量控制SEVEN START D70

等離子電源

型式：射頻RF Generator（含自動匹配器）

頻率：13.56MHz

功率：0-600Watt

等離子效應(yīng)

載盤（電極）間互相電容感應(yīng)式產(chǎn)生區(qū)域等離子

氣體流場分布

門板前端進氣口均勻?qū)胫瞥虤怏w

有效層流，提升等離子均勻度，由腔體后方排氣

安全聯(lián)鎖

當腔體門打開，真空PUMP閥件關(guān)閉與RF電源無法啟動

緊急停止開關(guān)EMS

使用鎖定類型緊急停止開關(guān)和放置在方便操作的區(qū)域

控制

PLC+威倫觸摸屏/3級密碼

電  力

相 （Phase）/ 線 （Line）

3相4線

Power supply

電壓（Volt)）/ 頻率（Hz）

380 V/ 50Hz

功率（Power）

2.5KVA

Grounding

壓縮空氣 

CDA

破真空用/氣動組件需求

（CDA）

壓力 Pressure （kg/cm2）

6

流量 flow rate （LPM）

20

管徑 Pipe dia.（mm）

外徑6mm內(nèi)徑4mm

排   氣

內(nèi)循環(huán)

安裝原廠油氣過濾與回收套件

Exhaust

管徑 Pipe dia.（inch）

DN40

外型尺寸                   （Outline）

寬*高*深（mm）

約1100*1600*1060（含三色燈）

運轉(zhuǎn)重量（kg）

約800 KGW