邢臺(tái)等離子表面清洗機(jī)

詳細(xì)介紹

等離子表面清洗機(jī)

設(shè)備規(guī)格:

Item	Specification	Remark
制程規(guī)劃	手動(dòng)將產(chǎn)品或載盤(pán)，放入腔體中的多層電極架中，中頻（100KHz）電源系統(tǒng)，對(duì)於擺放在電極架拖盤(pán)上或是料盒中的產(chǎn)品進(jìn)行真空等離子表面改質(zhì)
傳送方式	手動(dòng)上下料（料盒）可放置10-20個(gè)料盒
腔體	材質(zhì)：AL5052
	內(nèi)腔容積約140L（W:470mmH610mmD450mm）
	強(qiáng)化安全玻璃真空腔體視窗，抗紫外線(xiàn)及高頻輻射
真空泵	旋片泵+羅茨泵，pumping speed約250 M3/hr	萊寶底泵+鮑斯羅茨泵
	制程壓力10~100mtorr之間
	壓力量測(cè)範(fàn)圍10-3~1 torr
制程氣體	混和氣體：95% Ar+5%H2	氣體用量約：5~100sccm之間
	質(zhì)流量控制MFC 1 set
等離子電源	中頻 Generator（含匹配器）
	頻率：100k
	功率：0-1000Watt
等離子效應(yīng)	載盤(pán)（電極）間互相電容感應(yīng)式產(chǎn)生區(qū)域等離子
氣體流場(chǎng)分佈	門(mén)板前端進(jìn)氣口均勻?qū)胫瞥虤怏w
	有效層流，提升等離子均勻度，由腔體後方排氣
安全聯(lián)鎖	當(dāng)腔體門(mén)打開(kāi)，真空PUMP閥件關(guān)閉與RF電源無(wú)法啟動(dòng)
緊急停止開(kāi)關(guān)EMS	使用鎖定類(lèi)型緊急停止開(kāi)關(guān)和放置在方便操作的區(qū)域
控制	PLC+威倫觸控式螢?zāi)?/span>

廠(chǎng)務(wù)需求

軟體應(yīng)用：

1 整合方式PLC程序控制

2 觸控式顯示面板控制(臺(tái)灣威倫)。

3 最大5組製程參數(shù)預(yù)設(shè)及儲(chǔ)存。

受訓(xùn)內(nèi)容： (先期廠(chǎng)商端簡(jiǎn)易驗(yàn)收/廠(chǎng)商端受訓(xùn))

1 訓(xùn)練程序表：安裝，校正，操作，故障原因追查，保養(yǎng)及維修。

2 訓(xùn)練時(shí)間及地點(diǎn)：在安裝機(jī)地點(diǎn)或客戶(hù)端4小時(shí)教育訓(xùn)練。

驗(yàn)收專(zhuān)案

量測(cè)點(diǎn)區(qū)相關(guān)位置